[发明专利]一种声表面波谐振器、温度传感器及温度检测方法在审
| 申请号： | 202210960120.0 | 申请日： | 2022-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN115208351A | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 钱航宇;鲍飞鸿;吴淑娴;吴宗霖;邹洁 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/02;G01K11/22 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 韩雪梅 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于多层结构的声表面波谐振器、温度传感器及温度检测方法，所述声表面波谐振器包括从下到上依次设置的压电层、电极层和温度敏感层；所述温度敏感层的温度‑频率系数大于所述压电层的温度‑频率系数。本发明通过增加温度‑频率系数较大的温度敏感层，以提升声表面波谐振器整体的温度‑频率系数，克服了现有的声表面波谐振器的检测精度(取决于声表面波谐振器整体的温度‑频率系数)，受到压电层的温度‑频率系数的限制的技术缺陷，进一步提高了声表面波谐振器的温度检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 谐振器 温度传感器 温度 检测 方法 | ||
【主权项】：
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