[发明专利]一种声表面波谐振器、温度传感器及温度检测方法

权利要求书

1.一种基于多层结构的声表面波谐振器，其特征在于，所述声表面波谐振器包括从下到上依次设置的压电层、电极层和温度敏感层；所述温度敏感层的温度-频率系数大于所述压电层的温度-频率系数。

2.根据权利要求1所述的基于多层结构的声表面波谐振器，其特征在于，所述温度敏感层的材料为铌酸锂、钽酸锂或氮化铝。

3.根据权利要求1所述的基于多层结构的声表面波谐振器，其特征在于，所述电极层包括换能器、换能器两侧对称设置的反射栅、及分别与所述换能器的两个电极对应连接的两个天线。

4.根据权利要求3所述的基于多层结构的声表面波谐振器，其特征在于，所述换能器为叉指换能器。

5.根据权利要求1、3和4中任一项所述的基于多层结构的声表面波谐振器，其特征在于，所述电极层的材料为金属材料。

6.根据权利要求1所述的基于多层结构的声表面波谐振器，其特征在于，所述压电层的材料为石英。

7.一种温度传感器，其特征在于，所述温度传感器包括权利要求1-6任一项所述的声表面波谐振器，所述温度传感器还包括电磁信号发射模块、电磁信号接收模块和信号处理模块；

所述电磁信号发射模块和所述电磁信号接收模块均与所述声表面波谐振器无线连接；

所述电磁信号接收模块与所述信号处理模块连接；

所述电磁信号发射模块用于向所述声表面波谐振器发射第一电磁信号；

电磁信号接收模块用于接收所述声表面波谐振器返回的第二电磁信号；

所述信号处理模块用于对所述第二电磁信号进行处理，获得第二电磁信号的谐振频率，并根据谐振频率及声表面波谐振器的温度-频率系数，计算待测环境的温度。

8.根据权利要求7所述的温度传感器，其特征在于，计算待测环境的温度的公式为：

其中，TCF为声表面波谐振器的温度-频率系数，T₀为参考温度，f₀为参考温度对应的参考谐振频率，T₁为待测环境的温度，f₁为第二电磁信号的谐振频率。

9.一种温度检测方法，其特征在于，所述方法基于权利要求1-6任一项所述的声表面波谐振器，所述方法包括如下步骤：

将所述声表面波谐振器设置于待测环境中；

向所述声表面波谐振器发射第一电磁信号；

接收所述声表面波谐振器返回的第二电磁信号；

对所述第二电磁信号进行处理，获得第二电磁信号的谐振频率；

根据所述谐振频率及声表面波谐振器的温度-频率系数，计算待测环境的温度。

10.根据权利要求9所述的温度检测方法，其特征在于，所述根据所述谐振频率及声表面波谐振器的温度-频率系数，计算待测环境的温度，具体包括：

根据所述谐振频率及声表面波谐振器的温度-频率系数，求解公式得到待测环境的温度；

其中，TCF为声表面波谐振器的温度-频率系数，T₀为参考温度，f₀为参考温度对应的参考谐振频率，T₁为待测环境的温度，f₁为第二电磁信号的谐振频率。