[发明专利]一种判断籽晶接液水平度的装置及方法在审
| 申请号： | 202210918776.6 | 申请日： | 2022-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN115074832A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 刘源;梁刚强;苏奕霖;李强;陈雅薇 | 申请（专利权）人： | 北京清研半导科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B19/10;C30B19/00 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 石佳 |
| 地址： | 101300 北京市顺*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种判断籽晶接液水平度的装置及方法，其中装置部分包括石墨坩埚、石墨籽晶托、石墨籽晶杆和碳化硅籽晶，将石墨籽晶托上的单个正极石墨电极和两个及以上负极石墨电极置于籽晶托边缘并按照旋转对称排布，使得多个电极处于同一水平面内，将籽晶下降至液面，位于籽晶托上的电极与溶液形成闭合回路电流，并通过外部电流表指针偏转情况来判断籽晶与溶液接触时的水平度，以确保生长界面处流动的稳定性与晶体的高质量生长，为后续的晶体质量分析提供依据。接液过程结束后，导线与石墨电极分离并提拉至生长腔中上部，避免对晶体生长过程产生电磁干扰。此外，石墨电极与导线可多次利用，有效地节约了工艺成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 判断 籽晶 水平 装置 方法 | ||
【主权项】：
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