[发明专利]一种判断籽晶接液水平度的装置及方法

权利要求书

1.一种判断籽晶接液水平度的装置，其特征在于：包括

石墨坩埚，所述石墨坩埚内盛装有用于碳化硅单晶生长的熔融液；

石墨籽晶杆，所述石墨籽晶杆的顶部与不锈钢籽晶杆相连，所述石墨籽晶杆的底端位于所述石墨坩埚的生长腔内，所述石墨籽晶杆可沿所述石墨坩埚的生长腔上下移动；

石墨籽晶托，所述石墨籽晶杆的底部连接有所述石墨籽晶托，所述石墨籽晶托上设置有多个石墨电极；多个所述石墨电极包括单个正极石墨电极和两个及以上负极石墨电极，多个所述石墨电极置于所述石墨籽晶托的边缘并以石墨籽晶托的中心点旋转对称排布；每个所述石墨电极与电源连接的回路上均设置有电流表；

碳化硅籽晶，所述石墨籽晶托的底部粘接有所述碳化硅籽晶。

2.根据权利要求1所述的判断籽晶接液水平度的装置，其特征在于：所述石墨坩埚的外层包裹有保温材料。

3.根据权利要求1所述的判断籽晶接液水平度的装置，其特征在于：所述不锈钢籽晶杆通过上下法兰夹具与所述石墨籽晶杆相连接，所述不锈钢籽晶杆用于带动所述石墨籽晶杆沿所述石墨坩埚的生长腔上下移动。

4.根据权利要求3所述的判断籽晶接液水平度的装置，其特征在于：所述不锈钢籽晶杆上配备有升降伺服电机，所述升降伺服电机用于带动所述不锈钢籽晶杆和石墨籽晶杆上下移动，位移传感器用于检测所述石墨籽晶杆的上下移动的位移量。

5.根据权利要求1所述的判断籽晶接液水平度的装置，其特征在于：所述石墨籽晶杆的底部通过螺纹连接有所述石墨籽晶托。

6.根据权利要求1所述的判断籽晶接液水平度的装置，其特征在于：所述石墨电极的底表面平齐于所述石墨籽晶托的底表面；所述石墨电极与石墨籽晶托之间有碳化硅电绝缘涂层。

7.根据权利要求1所述的判断籽晶接液水平度的装置，其特征在于：连接所述石墨电极的导线能够被抽出并与所述石墨电极分离。

8.根据权利要求1所述的判断籽晶接液水平度的装置，其特征在于：还包括底部旋转升降机构，所述石墨坩埚放置在所述底部旋转升降机构上。

9.一种判断籽晶接液水平度的方法，应用于权利要求1-8中任一项所述的判断籽晶接液水平度的装置，其特征在于，包括以下步骤：

将碳化硅籽晶粘接在石墨籽晶托底部，在所述石墨籽晶托中插入呈旋转对称的三个或三个以上的石墨电极，所述石墨电极与碳化硅籽晶之间保持安全距离；所述石墨电极的底端与石墨籽晶托的底端平齐，所述石墨电极中一个电极接正极，其余电极接负极，每个电极通过导线连接到石墨坩埚的生长腔外，每个电极与电源连接的支路上均串联有一个电流表；

通过线圈电磁感应将所述碳化硅籽晶加热至完全熔化后，启动石墨籽晶杆升降伺服电机，使碳化硅籽晶下移与熔融液的液面接触；

若碳化硅籽晶与液面水平接触，多个电流表指针同时偏转，通过读取面板上位移传感器的数据能得到精确的液面高度；若碳化硅籽晶偏离水平位置，多个电流表的指针不同时发生偏转，即此时碳化硅籽晶与熔融液的液面并非在同一平面上，需重新调整碳化硅籽晶的水平度。