[发明专利]一种大尺寸石英坩埚非圆曲面化学机械磨抛一体化装备有效
| 申请号： | 202210908550.8 | 申请日： | 2022-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN115365995B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 张振宇;崔祥祥;孟凡宁;徐光宏;万省作;吴斌 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/27;B24B37/34;B24B57/02;B24B27/00;B24B1/04 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 修睿;李洪福 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供一种大尺寸石英坩埚非圆曲面化学机械磨抛一体化装备，包括：坩埚固定吸盘夹具、磨抛盘、浮动主轴、法兰盘、主轴旋转系统、主轴组件、主轴上下移动系统、机架、操作系统、抛光液滴加系统。本发明设计的装备通过坩埚固定吸盘夹具保证坩埚的定位精度，通过主轴旋转和上下移动实现磨抛盘进行上下和旋转运动，实现了对坩埚内壁同时进行的高精度打磨和抛光，同时通过液压伸缩模块调整磨抛轮和坩埚内壁之间的挤压作用力，配合超声辅助，实现了坩埚内壁尤其是大尺寸坩埚非圆曲面内壁的高质高效化学机械磨抛。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 石英 坩埚 曲面 化学 机械 一体化 装备 | ||
【主权项】：
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