[发明专利]谐振器的制备方法及谐振器、滤波器的制备方法及滤波器在审
| 申请号： | 202210876278.X | 申请日： | 2022-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN115208342A | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 赖志国;杨清华 | 申请（专利权）人： | 苏州汉天下电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/54 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孔凡红 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种谐振器的制备方法及谐振器、滤波器的制备方法及滤波器。该滤波器的制备方法包括：提供衬底；在衬底的一侧形成种子层；在种子层背离衬底的一侧形成下电极；图形化下电极；湿法刻蚀种子层，刻蚀后的种子层的边缘内缩在下电极在衬底的正投影内；对下电极的侧面进行内缩处理，以使下电极在衬底的正投影和种子层在衬底的正投影重合，或者，以使下电极在衬底的正投影落在种子层在衬底的正投影之内；在下电极背离种子层的一侧形成压电层；在压电层背离下电极的一侧形成上电极；本申请提供的技术方案提高了湿法工艺刻蚀种子层后沉积压电层的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振器 制备 方法 滤波器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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