[发明专利]加速度检测装置在审
| 申请号： | 202210876158.X | 申请日： | 2022-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN115201516A | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 丁海涛 | 申请（专利权）人： | 准懋（杭州）科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01C19/56 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;杨思雨 |
| 地址： | 311215 浙江省杭州市萧山区经济技术*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本公开了提供了一种加速度检测装置，包括基板；质量块，位于基板上方，与基板分隔；电容组，与质量块相连，电容组的电容值随质量块在第一方向上的位移改变；隔离结构，沿第一方向与质量块弹性连接；第一支撑结构与第二支撑结构，沿第一方向分别位于质量块的两侧且沿第二方向分别与隔离结构弹性连接，第一、第二以及基板的厚度方向相互垂直，第一、第二支撑结构分别包括第一、第二键合部，第一、第二支撑结构分别通过第一、第二键合部与基板固定连接，第一、第二键合部的连线与第一方向相对垂直，通过支撑结构与隔离结构的弹性连接，释放了键合材料间因热膨胀系数不匹配产生的应力，从而提高了加速度检测装置的性能，增加了加工材料选择的灵活性。 | ||
| 搜索关键词： | 加速度 检测 装置 | ||
【主权项】：
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