[发明专利]加速度检测装置

权利要求书

1.一种加速度检测装置，包括：

基板；

质量块，位于所述基板上方，并与所述基板分隔；

至少一个电容组，与所述质量块相连，所述电容组的电容值随所述质量块在第一方向上的位移改变；

隔离结构，沿所述第一方向与所述质量块弹性连接；以及

第一支撑结构与第二支撑结构，沿所述第一方向分别位于所述质量块的两侧，且沿第二方向分别与所述隔离结构弹性连接，所述第一方向、所述第二方向以及所述基板的厚度方向相互垂直，

其中，所述第一支撑结构包括相连的第一键合部与第一主体部，所述第二支撑结构包括相连的第二键合部与第二主体部，所述第一支撑结构、所述第二支撑结构分别通过所述第一键合部、所述第二键合部与所述基板固定连接，所述第一键合部与所述第二键合部的连线与所述第一方向相对垂直。

2.根据权利要求1所述的加速度检测装置，还包括：

第一弹性梁，两端分别与所述隔离结构和所述第一主体部连接；以及

第二弹性梁，两端分别与所述隔离结构和所述第二主体部连接。

3.根据权利要求2所述的加速度检测装置，其中，所述隔离结构呈环状，围绕所述质量块与所述电容组。

4.根据权利要求1所述的加速度检测装置，其中，所述第一键合部与所述基板的材料不同并与所述基板键合连接；

和/或所述第二键合部与所述基板的材料不同并与所述基板键合连接。

5.根据权利要求1所述的加速度检测装置，其中，所述第一键合部与所述第一主体部的材料不同并与所述第一主体部键合连接；

和/或所述第二键合部与所述第二主体部的材料不同并与所述第二主体部键合连接。

6.根据权利要求3所述的加速度检测装置，其中，沿所述第二方向，所述第一弹性梁位置和所述第一键合部对应、所述第二弹性梁的位置和所述第二键合部对应。

7.根据权利要求3所述的加速度检测装置，其中，所述第一主体部与所述第二主体部均沿所述第一方向延伸，

所述第一弹性梁的数量为多个，且沿所述第二方向分布在所述第一键合部两侧，所述第二弹性梁的数量为多个，且沿所述第二方向分布在所述第二键合部的两侧。

8.根据权利要求7所述的加速度检测装置，其中，所述第一弹性梁与所述第二弹性梁沿所述第一方向对称分布在所述隔离结构两侧，

所述第一键合部位于所述第一主体部的中部，所述多个第一弹性梁沿所述第二方向对称分布在所述第一键合部两侧；所述第二键合部位于所述第二主体部的中部，所述多个第二弹性梁沿所述第二方向对称分布在所述第二键合部两侧。

9.根据权利要求1-8任一项所述的加速度检测装置，其中，每个所述电容组包括：

至少一对沿所述第一方向分布在所述质量块两侧的第一电容极板；以及

与每个所述第一电容极板对应的第二电容极板，

其中，每个所述第一电容极板与所述质量块连接，每个所述第二电容极板相对于所述基板固定并与所述质量块分隔。

10.根据权利要求9所述的加速度检测装置，还包括多个第三弹性梁，沿所述第二方向分布在所述质量块两侧，分别连接所述质量块与所述隔离结构。

11.根据权利要求10所述的加速度检测装置，其中，所述多个第三弹性梁沿所述第一方向对称分布在所述质量块的中轴线两侧，所述中轴线与所述第一方向相对平行。