[发明专利]通用横式石英舟及同时对不同规格硅片的氧化热处理方法

摘要

本发明涉及一种通用横式石英舟，包括：包括顶板、底板、以及至少两个连接件，每个连接件的上端和顶板相连接，每个连接件的下端和底板相连接，每个连接件的内侧壁设置多个横向的载料板，所有载料板前端位于所有连接件围成区域的内部，同一高度处的所有载料板形成一个放置架，放置架用于放置硅片，每个载料板上设置至少两个放置平台，相邻的放置平台形成台阶状，靠近载料板的前端的放置平台最低，同一高度处的放置平台围设形成一种规格硅片所对应的放置空间，每层放置架上放置不同规格的硅片，用一种规格的石英舟放置不同规格硅片后进行氧化热处理，降低了制造成本。同时提供一种同时对不同规格硅片的氧化热处理方法。