[发明专利]存储单元、存储器及其制造方法、电子设备在审
申请号: | 202210803479.7 | 申请日: | 2022-07-07 |
公开(公告)号: | CN116234307A | 公开(公告)日: | 2023-06-06 |
发明(设计)人: | 康卜文;朱正勇;赵超;王桂磊 | 申请(专利权)人: | 北京超弦存储器研究院 |
主分类号: | H10B12/00 | 分类号: | H10B12/00 |
代理公司: | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人: | 张筱宁;宋海斌 |
地址: | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本申请实施例提供了一种存储单元、存储器及其制造方法、电子设备。在本申请实施例提供的存储单元中,第一半导体结构相对于源极和漏极缩进,使得源极、第一半导体结构和漏极围合形成侧向凹槽,使得栅极的尺寸与侧向凹槽的尺寸相适配,从而能够精准控制栅极沿第一方向的长度尺寸,能够提高栅极的制造精度,能够保障存储单元的制造精度,进而能够保障存储器中各个存储单元性能的均一性,进而能够保障存储器的性能。 | ||
搜索关键词: | 存储 单元 存储器 及其 制造 方法 电子设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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