[发明专利]一种空气隙型单晶压电薄膜体声波谐振器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210772041.7 | 申请日： | 2022-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN115001427A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 母志强;李卫民;俞文杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 罗泳文 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种空气隙型单晶压电薄膜体声波谐振器及其制备方法，所述制备方法至少包括：1)在第一衬底上生长压电薄膜；2)形成第一电极，并图形化第一电极和压电薄膜；3)旋涂第一聚合物层；4)利用光刻工艺图形化所述第一聚合物层，形成第一开口；5)提供第二衬底，其具有第二聚合物层；6)将第一聚合物层和第二聚合物层键合固定，去除第一衬底，所述第一开口形成空腔结构；7)形成介质层，图形化所述介质层形成暴露所述压电薄膜的第二开口；8)形成第二电极，并制作电极引出结构。本发明利用旋涂和光刻技术形成图形化的第一聚合物层，避免了生长沉积、抛光及刻蚀等复杂工艺的引入，工艺简单，成本更低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空气 隙型单晶 压电 薄膜 声波 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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