[发明专利]用于从光谱数据确定样品组成的方法及系统在审
| 申请号： | 202210757321.0 | 申请日： | 2022-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN115561270A | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | O·卡普伦科;J·克卢萨切克;T·图马;M·卡普伦科;O·马彻克 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N23/2273 | 分类号： | G01N23/2273;G06N3/02;G06N3/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张凌苗;周学斌 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于从光谱数据确定样品组成的方法及系统。公开用于从带电粒子显微镜系统所获取的光谱数据确定样品组成的方法及系统。通过用经训练神经网络（NN）处理所述光谱数据来识别样品中的化学元素。如果所识别的化学元素与所述样品的已知元素组成不匹配，那么用所述光谱数据及所述样品的所述已知元素组成重新训练所述经训练NN。接着可使用经重新训练的NN来识别其它样品内的化学元素。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光谱 数据 确定 样品 组成 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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