[发明专利]用于从光谱数据确定样品组成的方法及系统

权利要求书

1.一种方法，其包含：

用带电粒子束照射第一样品；

检测来自所述第一样品的第一类型发射，并根据所检测第一类型发射形成一或多个第一光谱；

通过用经训练神经网络处理所述第一光谱而识别所述第一样品内的一或多种第一化学元素；

检测来自所述第一样品的第二类型发射且显示基于所检测第二类型发射产生的样品图像；

选择所述样品图像中的一或多个像素；

显示对应于所选择的像素的一或多种化学元素；

响应于所显示的不同于已知元素组成的化学元素，用对应于所选择的像素的光谱及所述已知元素组成重新训练所述经训练神经网络；

用所述带电粒子束照射第二样品的一或多个位置；

通过检测来自所述第二样品的所述第一类型发射来获取一或多个第二光谱；及

通过用经重新训练神经网络处理所述第二光谱来识别所述第二样品内的一或多种第二化学元素。

2.根据权利要求1所述的方法，其中通过用经训练神经网络处理所述第一光谱来识别所述第一样品内的一或多种第一化学元素包含：

将所述第一光谱中的一或多者输入至所述经训练神经网络中；

从所述经训练神经网络输出一或多种化学元素及概率，其中每一化学元素对应于一个概率；及

选择概率大于阈值概率的所述化学元素作为所述第一化学元素。

3.根据权利要求1至2中任一项所述的方法，其进一步包含产生元素图，所述元素图展示所述第二样品中的所述第二化学元素的空间分布。

4.根据权利要求1至2中任一项所述的方法，其进一步包含基于所述第二化学元素将所述第二光谱中的每一者分解为一或多个光谱分量及丰度，其中每一分量对应于一个丰度。

5.根据权利要求4所述的方法，其进一步包含基于所述光谱分量及/或所述丰度产生所述第二样品的组成图。

6.根据权利要求5所述的方法，其中每一光谱分量为包括所述第二化学元素中的一或多者的分量的光谱。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，进一步基于所述第一化学元素显示所述样品图像，且其中，所述样品图像展示所述第一化学元素的空间分布。

8.根据权利要求1所述的方法，其进一步包含通过用多种化学元素的训练光谱训练神经网络来产生所述经训练神经网络。

9.根据权利要求8所述的方法，其中所述训练光谱包括模拟光谱及/或实验光谱。

10.根据权利要求1所述的方法，其进一步包含经由用户输入接收所述第一样品的所述已知元素组成。

11.根据权利要求10所述的方法，其中用对应于所述所选择的像素的光谱及所述已知元素组成来重新训练所述经训练神经网络包括：从对应于所述所选择的像素的所述光谱产生集成光谱，及用所述集成光谱及所述已知元素组成重新训练所述经训练神经网络。

12.根据权利要求11所述的方法，其进一步包含与所述第一化学元素中对应于所述所选择的像素的所述一或多种化学元素同时显示所述集成光谱。

13.根据权利要求11所述的方法，其中在显示器上显示所述第一化学元素包括在元素周期表中显示所述第一化学元素，且其中所述用户输入包括选择或取消选择在所述元素周期表中显示的所述第一化学元素。

14. 根据权利要求1所述的方法，其进一步包含：

在选择所述样品图像中的一或多个像素之后，将所述带电粒子束导引至与所述所选择的像素对应的一或多个样品区域，并获得所述样品区域的一或多个光谱；及

通过用所述经训练神经网络处理所获得的光谱来识别对应于所述所选择的像素的所述一或多种化学元素。