[发明专利]对机械手相对于承载空间取放硅片进行示教的系统及方法有效
| 申请号： | 202210756238.1 | 申请日： | 2022-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN114872020B | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 吕天爽 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/00 | 分类号： | B25J9/00;B25J9/16 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 归莹;姚勇政 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种对机械手相对于承载空间取放硅片进行示教的系统及方法，所述系统包括：触碰件，该触碰件设置在机械手上；驱动装置，该驱动装置用于使机械手移动以使触碰件接触限定出承载空间的承载部件的多个部位，并且用于在触碰件接触承载部件的每个部位时使机械手停止移动；获取单元，该获取单元用于根据每次停止移动时机械手的方位以及触碰件与承载部件接触的部位在触碰件中的位置获取承载部件的所述多个部位的位置；分析单元，该分析单元用于根据所述多个部位的位置分析承载空间的方位和轮廓形状；确定单元，该确定单元用于根据承载空间的方位和轮廓形状确定机械手的示教方位。 | ||
| 搜索关键词： | 机械手 相对于 承载 空间 硅片 进行 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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