[发明专利]用于划片机的工件冲洗装置及划片机有效
| 申请号： | 202210694218.6 | 申请日： | 2022-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN114769203B | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 张明明;石文;王晓禹;徐双双;吴洪柏 | 申请（专利权）人： | 沈阳和研科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 姜波 |
| 地址： | 110000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体切割技术领域，提供了一种用于划片机的工件冲洗装置及划片机，该工件冲洗装置，包括：至少一个水帘管组件；水帘管组件包括：水帘管、以及位于水帘管两端的第一进水接头和第二进水接头；水帘管包括管套和嵌套在管套内的通水管组件。本发明通过在水帘管的两端分别设置进水接头，可以缩短水流行程，从而减小水帘管长度方向上的压力差；同时通过设置长度不同的流道与不同喷水孔密封连通，从而为不同区域的喷水孔提供压力均衡的独立封闭流道，进而确保各喷水孔的出水压力均衡，提升冲洗效果的同时还可以有效保护工件不受损坏，并且该冲洗装置的整体结构更为紧凑，占用空间小，有利于划片机上的零部件合理布局。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 划片 工件 冲洗 装置 | ||
【主权项】：
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