[发明专利]聚光镜和包括聚光镜的用于产生极紫外光的装置在审
| 申请号： | 202210679515.3 | 申请日： | 2022-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN115776754A | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | 宋镐石;金圣协;李寅载;金桢吉 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张霞;倪斌 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于极紫外(EUV)光发生器的聚光镜，包括：第一镜，在容器中，该容器被配置为接收用于生成EUV光的材料和激光束；第二镜，围绕第一镜；以及可拆卸的第三镜，在第一镜和第二镜之间，第三镜具有不小于第一镜的外径的内径和不大于第二镜的内径的外径。 | ||
| 搜索关键词： | 聚光镜 包括 用于 产生 紫外光 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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