[发明专利]聚光镜和包括聚光镜的用于产生极紫外光的装置

说明书

一种用于极紫外(EUV)光发生器的聚光镜，包括：第一镜，在容器中，该容器被配置为接收用于生成EUV光的材料和激光束；第二镜，围绕第一镜；以及可拆卸的第三镜，在第一镜和第二镜之间，第三镜具有不小于第一镜的外径的内径和不大于第二镜的内径的外径。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2021年9月7日在韩国知识产权局(KIPO)递交的韩国专利申请No.10-2021-0118840的优先权，其全部内容通过引用合并于此。

技术领域

示例实施例涉及一种聚光镜和包括该聚光镜的用于产生极紫外光的装置更具体地，示例实施例涉及一种被配置为反射极紫外光的聚光镜和包括该聚光镜的用于产生极紫外光的装置。

背景技术

可以使用EUV光产生装置来产生极紫外(EUV)光。EUV光产生装置可以被分类为放电产生的等离子体(DPP)型装置和激光产生的等离子体(LPP)型装置。

DPP型装置可以从通过向材料施加高电压而形成的高密度等离子体生成EUV光。LPP型装置可以从通过向材料施加激光束而形成的高密度等离子体生成EUV光。例如，在LPP型装置中，可以将材料和激光引入容器中，并且可以将容器中生成的EUV光通过聚光镜反射到曝光室。

发明内容

根据示例实施例，可以提供一种用于产生EUV光的聚光镜。聚光镜可以包括第一镜、第二镜和第三镜。第一镜可以安装在容器处，该容器被配置为接收用于产生EUV光的材料和激光。第二镜可以被配置为围绕第一镜。第三镜可以具有不小于第一镜的外径的内径和不大于第二镜的内径的外径。第三镜可以可拆卸地布置在第一镜和第二镜之间。

根据示例实施例，可以提供一种用于产生EUV光的聚光镜。聚光镜可以包括第一镜、第二镜和第三镜。第一镜可以安装在容器处，该容器被配置为接收用于产生EUV光的材料和激光。第二镜可以被配置为围绕第一镜。第三镜可以具有与第一镜的外径基本相同的内径和与第二镜的内径基本相同的外径。第三镜可以可拆卸地布置在第一镜和第二镜之间。第一镜、第二镜和第三镜之间的组合结构可以具有半球形状。用于将空气喷射到第一镜的表面的第一喷嘴可以形成在第一镜的内表面的上部上。第三镜的内表面的上端可以设置在第一镜的外表面的上端下方，以暴露第一镜的外表面的上部。用于将空气喷射到第三镜的表面的第二喷嘴可以形成在第一镜的外表面的上部上。第三镜的外表面的上端可以设置在第二镜的内表面的上端上方，以暴露第三镜的外表面的上部。用于将空气喷射到第二镜的表面的第三喷嘴可以形成在第三镜的外表面的上部。

根据示例实施例，可以提供一种用于产生EUV光的装置。该装置可以包括容器、材料供应器、激光照射器和聚光镜。该容器可以被配置为接收用于产生EUV光的材料和激光。材料供应器可以将材料供应到容器中。激光照射器可以将激光照射到材料上以产生EUV光。聚光镜可以被配置为反射EUV光。聚光镜可以包括第一镜、第二镜和第三镜。第一镜可以安装在容器处。第二镜可以被配置为围绕第一镜。第三镜可以具有不小于第一镜的外径的内径和不大于第二镜的内径的外径。第三镜可以可拆卸地布置在第一镜和第二镜之间。

附图说明

通过参考附图详细描述示例性实施例，特征对于本领域技术人员将变得清楚，在附图中：

图1是示出了根据示例实施例的用于产生EUV光的装置的图；

图2是示出了图1中的装置的聚光镜的放大截面图；

图3是示出了图2中的聚光镜的分离的第三镜的透视图；

图4是示出了图2中的聚光镜的截面图；

图5是示出了图4中的聚光镜的第三镜的放大截面图；以及

图6是示出了图4中的聚光镜的固定部的放大截面图。

具体实施方式

图1是示出了根据示例实施例的用于产生EUV光的装置的图。