[发明专利]一种中熵合金涂层的强化方法在审
| 申请号： | 202210674557.8 | 申请日： | 2022-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN114990509A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 王弘喆;张磊;崔雄华;杨哲一;崔锦文 | 申请（专利权）人： | 西安热工研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/58;C22C30/00 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 李小叶 |
| 地址： | 710003 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种中熵合金涂层的强化方法，包括如下步骤：将需要涂层的构件表面进行处理；将中熵合金靶以及Al靶分别安装在真空磁控溅射镀膜机的两个直流靶位置，将构件作为基体固定于样品台上，当溅射室内真空度达到预定值后，通入氩气，进行预溅射；调节溅射室内的气压，设定溅射功率，进行共溅射涂层；将涂层后的构件加热至1200℃后保温，然后进行淬火处理；再将构件加热至600℃后保温，随炉冷却，实现对中熵合金涂层的强化。本发明通过磁控溅射将中熵合金及Al靶共溅射至构件表面，通过控制Al靶的溅射功率在保证涂层原有固溶体的基础上形成适量的金属间化合物，并通过固溶处理和时效处理对中熵合金涂层进行有效的强化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 涂层 强化 方法 | ||
【主权项】：
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