[发明专利]一种纳米级尺度电子束空间分布的测量装置在审
| 申请号： | 202210661048.1 | 申请日： | 2022-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN115014182A | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 洪才浩;陈志龙;闫鹏 | 申请（专利权）人： | 日照阿米精控科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/00 | 分类号： | G01B7/00 |
| 代理公司： | 济南光启专利代理事务所(普通合伙) 37292 | 代理人： | 李晓平 |
| 地址： | 276800 山东省日照市高新*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种纳米级尺度电子束空间分布的测量装置，其结构包括：底座位于基座的容纳孔中，且两者之间通过第一连接梁连接。直线电机竖向固定在底座的上表面上，上层平台罩在直线电机上，且该上层平台与底座之间连接。升降板水平设置在上层平台的上顶面安装孔中，且该升降板与直线电机的动子固定连接。挡板的一端固定在升降板上，法拉第杯固定在支架上，且法拉第杯位于挡板的另一端正下方。驱动机构与底座连接。倒“L”形的连接板的水平段与升降板连接，连接板的竖向段位于上层平台的侧壁通道中，且该竖向段与通道之间通过第二连接梁连接。本发明创新性地引入精密位移平台来实现挡板结构对电子束的遮挡动作，进可以有效提升尺寸的测量效率和精准度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 尺度 电子束 空间 分布 测量 装置 | ||
【主权项】：
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