[发明专利]一种纳米级尺度电子束空间分布的测量装置

权利要求书

1.一种纳米级尺度电子束空间分布的测量装置，其中，包括：基座、底座、直线电机、上层平台、升降板、挡板、支架、法拉第杯、驱动机构、连接板；其中：所述底座位于基座的容纳孔中，且两者之间通过第一连接梁连接；所述直线电机竖向固定在底座的上表面上，所述上层平台罩在直线电机上，且该上层平台与底座之间连接；所述升降板水平设置在上层平台的上顶面安装孔中，且该升降板与直线电机的动子固定连接；所述挡板的一端固定在升降板上，所述支架固定在上层平台一侧的基座上，所述法拉第杯固定在支架上，且法拉第杯位于挡板的另一端正下方；所述驱动机构与底座连接，用于实现底座在X或Y方向运动；倒“L”形的所述连接板的水平段与升降板连接，连接板的竖向段位于上层平台的侧壁通道中，且该竖向段与通道之间通过第二连接梁连接，且所述第一连接梁、第二连接梁为可变形件。

2.根据权利要求1所述的纳米级尺度电子束空间分布的测量装置，其特征在于，所述连接板至少为四组，其均布在升降板的周围，形成正交结构。

3.根据权利要求1所述的纳米级尺度电子束空间分布的测量装置，其特征在于，所述上层平台为空心立方体结构，其下端为开口状，所述连接板的竖向段均布在上层平台的四个侧壁上。

4.根据权利要求1所述的纳米级尺度电子束空间分布的测量装置，其特征在于，所述驱动机构为两组，其均设置在基座侧壁上的通孔中，且驱动机构的驱动端与底座连接；第一组所述驱动机构和所述支架分别位于上层平台的两侧，第二组所述驱动机构位于第一组所述驱动机构和所述支架之间的上层平台侧面，从而使两组驱动机构正交分布。

5.根据权利要求1所述的纳米级尺度电子束空间分布的测量装置，其特征在于，所述驱动机构包括：固定件和压电陶瓷；其中：所述固定件可拆卸连接在通孔中，所述压电陶瓷的一端连接在固定件上，另一端穿出通孔后与方形底座的侧壁接触。

6.根据权利要求5所述的纳米级尺度电子束空间分布的测量装置，其特征在于，所述固定件与通孔之间螺纹连接。

7.根据权利要求1所述的纳米级尺度电子束空间分布的测量装置，其特征在于，所述第一连接梁为竖向设置的金属片组，且方形底座的四个侧壁上均分布有该种第一连接梁；优选地，所述金属片组由若干片金属片组成，更优选为航空铝合金片。

8.根据权利要求1所述的纳米级尺度电子束空间分布的测量装置，其特征在于，所述第二连接梁为水平设置的金属片组，且所述连接板的竖向段的下端两侧均分布有该种第二连接梁，其两端分别与所述连接板、上层平台的侧壁通道的内壁连接；优选地，所述金属片组由若干片金属片组成，更优选为航空铝合金片。

9.根据权利要求1-8任一项所述的纳米级尺度电子束空间分布的测量装置，其特征在于，所述法拉第杯的上方还设置有电子束发射装置，所述挡板的另一端位于所述电子束发射装置和法拉第杯之间。

10.根据权利要求1-8任一项所述的纳米级尺度电子束空间分布的测量装置，其特征在于，所述底座上开设有固定孔，螺栓从底座的底面穿过该固定孔后与所述直线电机的定子部分连接；优选地，螺栓从所述底座的底面穿过固定孔后与上层平台的下端口壁面连接。