[发明专利]一种医疗器械用高硬度TiTaCrMoNbNx高熵合金薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202210659181.3 | 申请日： | 2022-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN114941122A | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 李伟;邵国森 | 申请（专利权）人： | 上海锐畅医疗科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/02;C22C30/00;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 申素霞 |
| 地址： | 201706 上海市青浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于硬质薄膜技术领域，具体涉及一种医疗器械用高硬度TiTaCrMoNbNx高熵合金薄膜及其制备方法。本发明提供的TiTaCrMoNbNx高熵合金薄膜中N的原子百分比范围为0～60.55at.％，其余为等摩尔比的TiTaCrMoNb。本发明通过限定涂层中元素占比，使得TiTaCrMoNbNx高熵合金薄膜的结构致密，厚度均匀，力学性能优异，硬度、耐磨性能优异。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 医疗器械 硬度 titacrmonbnx 合金 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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