[发明专利]一种运动台的运动轨迹的规划方法及规划装置在审

专利信息
申请号: 202210637243.0 申请日: 2022-06-07
公开(公告)号: CN114924528A 公开(公告)日: 2022-08-19
发明(设计)人: 李红钢;陈国兴 申请(专利权)人: 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
主分类号: G05B19/19 分类号: G05B19/19
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 于彬
地址: 100176 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 本申请提供了一种运动台的运动轨迹的规划方法及规划装置,包括:根据运动轨迹中第二阶段运动轨迹的场景工作段的运动速度和相关运动约束,得到第二阶段运动轨迹的特征参数;再由第二阶段运动轨迹的特征参数,反推第一阶段运动轨迹的结束位置;并根据第一阶段运动轨迹的结束位置和相关运动约束,得到第一阶段运动轨迹的特征参数;进而,得到全运动轨迹的特征参数轮廓以对运动台运动进行规划。这样,能够减少运动台在高速高精度运动过程中产生的大冲击和强残余振动,实现了运动台运动轨迹规划时合理加加加速度轮廓、加加速度轮廓、加速度轮廓、速度轮廓和位移轮廓的生成。
搜索关键词: 一种 运动 轨迹 规划 方法 装置
【主权项】:
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