[发明专利]一种测定负性光刻胶显影液中氢氧化钾含量的方法在审
| 申请号： | 202210621482.7 | 申请日： | 2022-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN114858968A | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 叶青;任成成;黄德新 | 申请（专利权）人： | 合肥中聚和成电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N31/16 | 分类号： | G01N31/16;G01N27/26 |
| 代理公司： | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 | 代理人： | 缪璐欢 |
| 地址： | 231607 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测定负性光刻胶显影液中氢氧化钾含量的方法，涉及分析化学技术领域。包括以下步骤：S1：配制标准滴定剂；通过步骤S2‑S6，计算得到0.1mol/L和1.0mol/L盐酸‑水溶液的最终浓度值；S7：称取负性光刻胶显影液样品，加入高纯水至50mL，表面皿盖住烧杯口，迅速移至自动电位滴定仪的滴定台上，并加透明自封袋封口；S8：将数据代入计算公式，得到负性光刻胶显影液中氢氧化钾的含量。有益效果：本发明对负性光刻胶显影液中氢氧化钾采用水性DET‑pH动态滴定方法定量，能够精确地测量出氢氧化钾的含量，可以满足在线实时取样的滴定分析，并且检测速度快，无前处理，检测产生废液组成简单且危害低，能实时反馈氢氧化钾含量，能够满足在线检测和控制要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测定 光刻 显影液 氢氧化钾 含量 方法 | ||
【主权项】：
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