[发明专利]一种测定负性光刻胶显影液中氢氧化钾含量的方法

权利要求书

1.一种测定负性光刻胶显影液中氢氧化钾含量的方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：配制标准滴定剂

以盐酸为溶质，高纯水为溶剂，配制浓度为0.1mol/L和1.0mol/L的盐酸-水溶液为标准滴定剂；

S2：将步骤S1配好的0.1mol/L和1.0mol/L的盐酸-水溶液进行第一次振荡混匀，静置，再进行第二次振荡混匀，然后静置备用；

S3：将TRIS基准试剂放入烘干箱中干燥，干燥结束后取出置于干燥器中，充分冷却至室温；

S4：两次称取步骤S3中干燥冷却的TRIS，分别对应步骤S1中的0.1mol/L和1.0mol/L盐酸-水溶液，加高纯水溶解，移至自动电位滴定仪的滴定台上，并启动搅拌至完全溶解，获得TRIS水溶液；

S5：通过自动电位滴定仪分别将步骤S2中的0.1mol/L和1.0mol/L盐酸-水溶液滴定至步骤S4的TRIS水溶液中，直至出现明显滴定突跃，此突跃即为滴定终点，根据称取的TRIS质量及消耗的0.1mol/L和1.0mol/L盐酸-水溶液体积，分别计算两种滴定剂浓度，其计算公式为：

式中：m为步骤S4中称取的TRIS的质量数值，单位为g；M为TRIS的摩尔质量值，即为121.14，单位为g/mol；V为滴定终点对应消耗盐酸标准滴定剂的体积值，单位为mL；

S6：重复步骤S4、S5均七次，并分别计算八次滴定剂0.1mol/L和1.0mol/L的浓度平均值，且满足八次平行滴定的RSD≤0.10％，分别以八次滴定的平均值作为0.1mol/L和1.0mol/L盐酸-水溶液的最终浓度值；

S7：称取负性光刻胶显影液样品，加入高纯水至50mL，表面皿盖住烧杯口，迅速移至自动电位滴定仪的滴定台上，并加透明自封袋封口；

S8：通过自动电位滴定仪，先用步骤S2配制的1.0mol/L盐酸-水溶液滴到负性光刻胶显影液溶液中至溶液pH为10.5，即为等当点EP1，继续用步骤S2中配制的0.1mol/L盐酸-水溶液滴定到负性光刻胶显影液样品溶液中，直至出现明显突跃点，即为氢氧化钾滴定等当点，即为EP2，根据步骤S6得到的0.1mol/L和1.0mol/L盐酸-水溶液的最终浓度值和等当点EP1和EP2对应消耗步骤S2中0.1mol/L和1.0mol/L盐酸-水溶液的体积，计算负性光刻胶显影液中氢氧化钾的含量，其计算公式为：

式中：c1、c2分别对应步骤S6中获得的1.0mol/L和0.1mol/L盐酸-水溶液的最终浓度值，单位为mol/L；V1、V2分别对应等当点EP1和EP2消耗体积值，单位为mL；M为氢氧化钾的摩尔质量值，即为56.10，单位为g/mol；m为称取的负性光刻胶显影液样品质量，单位为g。

2.根据权利要求1所述的测定负性光刻胶显影液中氢氧化钾含量的方法，其特征在于，所述步骤S1中盐酸为分析纯盐酸。

3.根据权利要求1或2所述的测定负性光刻胶显影液中氢氧化钾含量的方法，其特征在于，所述步骤S1中高纯水的电阻率≥15MΩ。

4.根据权利要求3所述的测定负性光刻胶显影液中氢氧化钾含量的方法，其特征在于，所述步骤S2中第一次振荡混匀20-40min，静置20-30h，第二次振荡混匀25-35min。

5.根据权利要求1或2或4所述的测定负性光刻胶显影液中氢氧化钾含量的方法，其特征在于，所述步骤S3中的干燥条件为温度100-120℃，时间4-6h。

6.根据权利要求5所述的测定负性光刻胶显影液中氢氧化钾含量的方法，其特征在于，所述步骤S4中两次称取TRIS的质量分别为0.15-0.20g和0.60-0.85g。

7.根据权利要求6所述的测定负性光刻胶显影液中氢氧化钾含量的方法，其特征在于，所述步骤S4中两次称取TRIS的质量精确至0.1mg。

8.根据权利要求1所述的测定负性光刻胶显影液中氢氧化钾含量的方法，其特征在于，所述步骤S4中加入高纯水的体积为40-60mL。