[发明专利]一种双共振增强型高灵敏度小型化共振式气体传感器在审
| 申请号： | 202210620675.0 | 申请日： | 2022-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN114965278A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 宫振峰;吴国杰;王晨烨;梅亮 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/17 |
| 代理公司： | 辽宁鸿文知识产权代理有限公司 21102 | 代理人： | 许明章;王海波 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种双共振增强型高灵敏度小型化共振式气体传感器，基于硅悬臂梁结合二氧化硅探头起到了探测声波的效果，并且硅悬臂梁尺寸较小，能实现特别宽的频响并且和缓冲室、谐振腔的尺寸对应的一阶谐振频率相匹配达到双共振效果，使得可以对受限空间进行高灵敏度探测。该小型化气体传感器不需要大体积的温控装置结构简单，体积相当小，响应速度快，安装便捷，气孔独特的设计，使得整个传感器在检测的时候气体充分渗入到传感器内部，并没有占用多余的空间硅悬臂梁结合二氧化硅传感头形成了F‑P腔，进一步减少多余的体积，并且在体积缩小的情况下并不影响对痕量气体高灵敏度的检测，为小型化共振式光声传感器提供了新的思路，在光声光谱领域应用前景巨大。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 共振 增强 灵敏度 小型化 气体 传感器 | ||
【主权项】：
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