[发明专利]一种双共振增强型高灵敏度小型化共振式气体传感器在审
| 申请号： | 202210620675.0 | 申请日： | 2022-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN114965278A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 宫振峰;吴国杰;王晨烨;梅亮 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/17 |
| 代理公司： | 辽宁鸿文知识产权代理有限公司 21102 | 代理人： | 许明章;王海波 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 共振 增强 灵敏度 小型化 气体 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种双共振增强型高灵敏度小型化共振式气体传感器，其特征在于，在传统的双共振增强型共振式气体传感器基础上，对缓冲室和谐振腔的长度和直径进一步确定：缓冲室(2)和谐振腔(3)的长度均为18mm，缓冲室(2)的直径是12mm，谐振腔(3)的直径是4mm；将声传感头设计成集成化传感探头(4)，主要由单模光纤(9)、二氧化硅传感头(10)和硅悬臂梁(13)组成；二氧化硅传感头(10)的直径是3.5mm，其内部设有一个锥形腔体并且腔体的体积是6.2mm3；硅悬臂梁(13)的长度是1.1mm，宽度是0.4mm，厚度是4.1um。
2.根据权利要求1中的所述的双共振增强型高灵敏度小型化共振式气体传感器，其特征在于，所述的锥形腔体的上半径是1.6mm，下半径是0.1mm，高度是2.16mm。
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