[发明专利]一种清洁装置在审
| 申请号： | 202210578257.X | 申请日： | 2022-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN114887976A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 万先进;边逸军;韦俊丞;李文超 | 申请（专利权）人： | 宁波芯丰精密科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B1/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 梁佳强 |
| 地址： | 315400 浙江省宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及芯片制造技术领域，公开了一种清洁装置。清洁装置包括转盘、清洁组件、驱动件和支撑组件。转盘的转动轴线沿第一方向延伸，待清洁基板能够固定在转盘上；清洁组件位于转盘沿第一方向的一侧，清洁组件包括清洁头和连接臂，清洁头设置在连接臂的一端并位于连接臂朝向转盘的一侧；驱动件连接于连接臂的另一端并能够驱动清洁组件沿第二方向移动；支撑组件包括滑轨和滑块，滑轨沿第二方向延伸，滑块与滑轨滑动配合，滑块连接于连接臂相背转盘的一侧，滑块与清洁头设置在连接臂的同一端。本发明减少连接臂的形变量，保证清洁装置的清洁效果和生产效率，也避免驱动件受到的压力过大而损坏，保证驱动件的耐用性，降低维护成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洁 装置 | ||
【主权项】：
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