[发明专利]一种钽钼合金靶材及其制备方法与应用有效
| 申请号： | 202210575259.3 | 申请日： | 2022-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN114934202B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;周友平;余婷 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C22C1/02 | 分类号： | C22C1/02;C22C27/02;C22F1/18;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 韩承志 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种钽钼合金靶材及其制备方法与应用，先采用分批次混合的方式，将第一钽粉和钼粉进行第一混合，并均分得到两份第一混合粉；将每份第一混合粉分别与第二钽粉进行第二混合，并均分得到四份第二混合粉；将每份第二混合粉分别与第三钽粉进行第三混合，得到四份第三混合粉，从而提高钽粉和钼粉的混合均匀程度；再结合电子束真空熔炼、第一锻造、第一热处理、第二锻造、第二热处理、轧制和第三热处理，提高钽钼合金靶材内部组织结构的均匀度；且所述制备方法操作简单，易于工业化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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