[发明专利]一种钽钼合金靶材及其制备方法与应用有效
| 申请号： | 202210575259.3 | 申请日： | 2022-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN114934202B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;周友平;余婷 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C22C1/02 | 分类号： | C22C1/02;C22C27/02;C22F1/18;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 韩承志 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 合金 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种钽钼合金靶材的制备方法，其特征在于，所述钽钼合金靶材的制备方法包括如下步骤：
(1)将第一钽粉和钼粉进行第一混合，并均分得到两份第一混合粉；
将每份第一混合粉分别与第二钽粉进行第二混合，并均分得到四份第二混合粉；
将每份第二混合粉分别与第三钽粉进行第三混合，得到四份第三混合粉；
步骤(1)所述第一钽粉、钼粉、第二钽粉和第三钽粉的纯度为4N；
步骤(1)所述第一钽粉和钼粉的质量比为300:1；步骤(1)所述第二钽粉与每份第一混合粉的质量比为(5～10):1；步骤(1)所述第三钽粉与每份第二混合粉的质量比为(5～10):1；
(2)将四份第三混合粉进行电子束真空熔炼，得到钽锭；
步骤(2)所述电子束真空熔炼的次数为3～5次；
(3)将步骤(2)所述钽锭依次经过第一锻造、第一热处理、第二锻造、第二热处理、轧制和第三热处理，得到钽钼合金靶材。
2.根据权利要求1所述钽钼合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述第一钽粉、钼粉、第二钽粉和第三钽粉的平均粒度均为40～50μm。
3.根据权利要求1所述钽钼合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述第一混合、第二混合和第三混合均在V型混粉机中进行。
4.根据权利要求1所述钽钼合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述第一混合、第二混合和第三混合的时间均≥24h。
5.根据权利要求1所述钽钼合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述电子束真空熔炼的真空度为(1～5)×10-2Pa。
6.根据权利要求1所述钽钼合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述电子束真空熔炼的时间为3～5h。
7.根据权利要求1所述钽钼合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤(3)所述第一锻造的温度为10～30℃。
8.根据权利要求1所述钽钼合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤(3)所述第一锻造的锻造比为1.0～2.5。
9.根据权利要求1所述钽钼合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤(3)所述第一热处理的温度为900～1200℃。
10.根据权利要求1所述钽钼合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤(3)所述第一热处理的时间为0.5～2h。
11.根据权利要求1所述钽钼合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤(3)所述第二锻造的温度为10～30℃。
12.根据权利要求1所述钽钼合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤(3)所述第二锻造的锻造比为1.0～2.5。
13.根据权利要求1所述钽钼合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤(3)所述第二热处理的温度为1000～2000℃。
14.根据权利要求1所述钽钼合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤(3)所述第二热处理的时间为0.5～2h。
15.根据权利要求1所述钽钼合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤(3)所述轧制的温度为10～30℃。
16.根据权利要求1所述钽钼合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤(3)所述轧制的变形量为60～90％。
17.根据权利要求1所述钽钼合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤(3)所述轧制时，每道次的下压量为0.5～5mm。
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