[发明专利]一种钛酸铅-锆酸铅纳米复合薄膜及其制备方法

摘要

本发明提供了一种钛酸铅‒锆酸铅纳米复合薄膜及其制备方法，所述材料的化学成分为PbTiO3:PbZrO3摩尔比为3~12:37，具有钛酸铅纳米粒子均匀地分布在锆酸铅基体上的微观结构特征，其极化特性可以根据钛酸铅与锆酸铅的摩尔比进行调控，由反铁电性变成铁电性。钛酸铅‒锆酸铅纳米复合薄膜具有良好的铁电性，其最大极化强度和剩余极化强度分别为114.6μC/cm2和77.7μC/cm2。钛酸铅‑锆酸铅纳米复合薄膜是通过化学溶液沉积法制备的，具有工艺简单、成本低廉、可大面积均匀成膜等优点，将在铁电存储器、铁电阻变存储器和微机电系统等领域具有广阔的应用前景。