[发明专利]高原制氧机专用小尺寸氧分压型氧传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202210543984.2 | 申请日： | 2022-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN114923973B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 高峰;孙志檬;初菲;刘皓;刘皞;杨杰;孙俊杰 | 申请（专利权）人： | 明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司;明石创新产业技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/407 | 分类号： | G01N27/407;G01N27/409;C23C14/58;C23C14/35;C23C14/16;C23C14/08;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 顾明月 |
| 地址： | 264006 山东省烟台市经济*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高原制氧机专用小尺寸氧分压型氧传感器及其制备方法，其中，该氧传感器的结构自上而下依次为：顶层多孔Pt电极、上层钇稳定氧化锆固体电解质、第二层多孔Pt电极、回字形致密Pt电极层、第三层多孔Pt电极、下层钇稳定氧化锆固体电解质、底层多孔Pt电极、绝缘层和加热电极。本发明提供的氧传感器以氧化锆固体电解质作为功能层，可以测量氧分压，并进一步换算获得氧浓度，进而可以实时监控环境下的氧分压和氧浓度；本发明采用磁控溅射工艺制备传感器，整个传感器的厚度可降低至2.1～47μm，从而可以降低功耗，改善加热的均匀性，最终保持氧的输运特性一致，进一步提升测氧精度。 | ||
| 搜索关键词： | 高原 制氧机 专用 尺寸 氧分压 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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