[发明专利]水冷的发热体电极装置

摘要

本发明提供了一种水冷的发热体电极装置，涉及CVD气相沉积炉制造技术领域，解决了现有技术存在的水冷发热体电极，冷却效果较差，容易缩短铜电极的使用寿命的技术问题。该水冷的发热体电极装置包括铜电极以及进水管，其中：铜电极为一端开口另一端封闭的中空管状结构，铜电极开口端的管壁上设置有出水口；进水管从铜电极的开口端插接至铜电极的封闭端，进水管在铜电极的开口端与铜电极为过盈配合连接，所属进水管和所属铜电极之间形成水冷通道；铜电极的封闭端向外延伸设置有电极铜夹。本发明用于提高冷却水对铜电极的冷却效果，延长铜电极的使用寿命。