[发明专利]水冷的发热体电极装置

说明书

本发明提供了一种水冷的发热体电极装置，涉及CVD气相沉积炉制造技术领域，解决了现有技术存在的水冷发热体电极，冷却效果较差，容易缩短铜电极的使用寿命的技术问题。该水冷的发热体电极装置包括铜电极以及进水管，其中：铜电极为一端开口另一端封闭的中空管状结构，铜电极开口端的管壁上设置有出水口；进水管从铜电极的开口端插接至铜电极的封闭端，进水管在铜电极的开口端与铜电极为过盈配合连接，所属进水管和所属铜电极之间形成水冷通道；铜电极的封闭端向外延伸设置有电极铜夹。本发明用于提高冷却水对铜电极的冷却效果，延长铜电极的使用寿命。

技术领域

本发明涉及CVD气相沉积炉制造技术领域，尤其是涉及一种水冷的发热体电极装置。

背景技术

在CVD气相沉积炉制造技术领域中，水冷发热体铜电极运行在高温和有高压电流通过的情况下，需要通过对铜电极的内部导入循环冷却水的方式来降低铜电极的温度，保证铜电极在高温的环境下也能正常工作。

本申请人发现：在现有冷却方式中，冷却水一般未能完全流经铜电极的内部或只流过铜电极表面，冷却效果不够好，影响铜电极的使用寿命。

综上所述，现有技术至少存在以下技术问题：

现有技术提供的水冷发热体电极，冷却效果较差，容易缩短铜电极的使用寿命。

发明内容

本发明的目的是提出一种水冷的发热体电极装置，解决了现有技术存在的水冷发热体电极，冷却效果较差，容易缩短铜电极的使用寿命的技术问题。

为实现上述目的，本发明提供了以下技术方案：

本发明提供实施例的水冷的发热体电极装置，包括铜电极以及进水管，其中：

铜电极为一端开口另一端封闭的中空管状结构，铜电极开口端的管壁上设置有出水口；进水管从铜电极的开口端插接至铜电极的封闭端，进水管在铜电极的开口端与铜电极为过盈配合连接，所属进水管和所属铜电极之间形成水冷通道；铜电极的封闭端向外延伸设置有电极铜夹。

在可选地实施例中，铜电极外围包覆有绝缘胶木。

在可选地实施例中，绝缘胶木的两端设置有绝缘胶圈。

在可选地实施例中，进水管的一端设置有可拆卸连接的铜宝塔。

在可选地实施例中，电极铜夹包括第一电极铜夹和第二电极铜夹，第一电极铜夹的深度长于第二电极铜夹的深度。

在可选地实施例中，还包括与铜电极固定连接的电极紧固环。

在可选地实施例中，电极紧固环上设置有法兰盘。

在可选地实施例中，出水口的内径小于进水管的内径。

基于上述技术方案，本发明实施例至少可以产生如下技术效果：

本发明提供的水冷的发热体电极装置，其铜电极为一端开口另一端封闭的中空管状结构，铜电极开口端的管壁上设置有出水口；进水管从铜电极的开口端插接至铜电极的封闭端，进水管在铜电极的开口端与铜电极为过盈配合连接，所属进水管和所属铜电极之间形成水冷通道；铜电极的封闭端向外延伸设置有电极铜夹。

这样，相对现有技术而言，本发明将发热体铜电极设计为中空，并将冷却水进水管伸入到发热体电极最底部，这样冷却水从发热体电极的最底部进入，直接与电极内壁接触，使环境温度最高的部位率先冷却，在电极根部设置冷却水出水口，由于出水口直径略小于进水管直径，保证了冷却水在压力作用下与铜电极内壁充分接触，将电极本体上的热量快速传导至冷却水上，使冷却水最大程度与电极接触，在冷却水回流过程中，对电极通体进行冷却，从而实现高温环境下铜电极最大程度的冷却，提高了冷却水对电极冷却的效果，延长了铜电极的使用寿命，所以解决了现有技术存在的水冷发热体电极，冷却效果较差，容易缩短铜电极的使用寿命的技术问题。

附图说明