[发明专利]一种伸缩式芯片探针及芯片测试系统有效
| 申请号： | 202210520500.2 | 申请日： | 2022-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN114624483B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 罗跃浩;黄建军;胡海洋 | 申请（专利权）人： | 苏州联讯仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R31/28;G01R35/00;G01J5/00 |
| 代理公司： | 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙) 11391 | 代理人： | 赵燕燕 |
| 地址： | 215129 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种伸缩式芯片探针及芯片测试系统，属于芯片测试技术领域。该伸缩式芯片探针包括探针套和可相对于所述探针套移动的第一探针头，所述第一探针头具有露出于所述探针套的探测端，用于探测芯片的电信号，其中，所述第一探针头设有轴向贯穿其自身的第一通孔，所述第一通孔内固设有内嵌光纤，所述内嵌光纤具有轴向相对的第一端和第二端，所述第一端靠近所述探测端，所述第一端内陷于所述第一通孔内，所述第二端用于与引导光纤对接，以传递光信号，所述引导光纤与光信号分析仪相连。本发明还提供一种包括上述伸缩式芯片探针的芯片测试系统。本发明的伸缩式芯片探针及芯片测试系统有利于芯片的小型化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 伸缩 芯片 探针 测试 系统 | ||
【主权项】：
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