[发明专利]一种大尺寸平板零件平面度测量装置

摘要

本发明公开了一种大尺寸平板零件平面度测量装置，包括支撑系统、被测零件定位系统、测量系统、运动系统和自动控制系统。测量系统的核心是位移传感器；运动系统包括转动系统和移动系统；自动控制系统的核心是可编程控制器。本发明采用可实现圆周和径向组合运动的位移传感器及直线导轨，通过缩小位移传感器移动的距离减少了移动引入的误差；采用高精度圆锥滚子轴承作为转动系统的垂直支撑，降低了转动在垂直方向上引入的误差。这些都有利于提高测量的准确度。本发明可实现同心圆、螺旋、径向或直线等多种测点布局的测量，可通过延长导轨实现更大尺寸零件的平面度测量，具有体积小、效率高、适用于生产现场等特点，应用前景广阔。