[发明专利]一种超声波搅拌的氮化镓液相生长装置在审
| 申请号： | 202210497783.3 | 申请日： | 2022-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN114934311A | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 谈逊;刘才;谈谦;吴曦;曾龙辉;李欣;王占玲;刘宁波 | 申请（专利权）人： | 华厦半导体（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C30B9/00 | 分类号： | C30B9/00;C30B30/06;C30B29/40 |
| 代理公司： | 合肥市都耒知识产权代理事务所(普通合伙) 34227 | 代理人： | 赵媛 |
| 地址： | 518117 广东省深圳市龙岗区坪地街道坪西社*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超声波搅拌的氮化镓液相生长装置，包括壳体，所述外壳体内部设置有容纳腔，所述外壳体顶端螺栓固定连接有用于将容纳腔进行封堵的盖体，所述容纳腔内部固定连接有反应壳体；所述反应壳体内底壁设置有加热件，所述反应壳体上固定连接有多个超声波振子；所述容纳腔内部固定连接有固定块，所述固定块上固定连接有用于对反应壳体进行进料的进料机构；所述外壳体上设置有用于对容纳腔进行冲入氮气的充气组件。本发明通过在反应壳体底端固定连接有多个超声波振子能够实现反应壳体内部产生超声振动，以实现其内部的物料能够实现更加充分的进行混合，相对于现有技术中的机械搅拌结构，能够大大的减小搅拌装置的结构，使得设备的结构更加的简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超声波 搅拌 氮化 相生 装置 | ||
【主权项】：
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