[发明专利]一种超声波搅拌的氮化镓液相生长装置

权利要求书

1.一种超声波搅拌的氮化镓液相生长装置，包括外壳体(1)，其特征在于，所述外壳体(1)内部设置有容纳腔(11)，所述外壳体(1)顶端螺栓固定连接有用于将容纳腔(11)进行封堵的盖体(12)，所述容纳腔(11)内部固定连接有反应壳体(2)；

所述反应壳体(2)内底壁设置有加热件(3)，所述反应壳体(2)上固定连接有多个超声波振子(4)；

所述容纳腔(11)内部固定连接有固定块(5)，所述固定块(5)上固定连接有用于对反应壳体(2)进行进料的进料机构(6)；

所述外壳体(1)上设置有用于对容纳腔(11)冲入氮气的充气组件(7)。

2.根据权利要求1所述的超声波搅拌的氮化镓液相生长装置，其特征在于，所述反应壳体(2)外底壁固定连接有隔热陶瓷片(8)，所述隔热陶瓷片(8)底端与超声波振子(4)固定连接。

3.根据权利要求1所述的超声波搅拌的氮化镓液相生长装置，其特征在于，所述超声波振子(4)环侧环绕有散热管(9)，所述散热管(9)为金属材质，所述散热管(9)贯穿容纳腔(11)并延伸至外部连接有散热器。

4.根据权利要求1所述的超声波搅拌的氮化镓液相生长装置，其特征在于，所述进料机构(6)包括进料缸(61)以及进料管(62)，所述进料缸(61)固定连接在固定块(5)上，所述进料管(62)两端分别与进料缸(61)以及进料管(62)固定连通设置。

5.根据权利要求4所述的超声波搅拌的氮化镓液相生长装置，其特征在于，所述进料机构(6)还包括加压气缸(65)以及加压板(66)，所述加压气缸(65)固定连接在盖体(12)上，所述加压气缸(65)底部输出端与加压板(66)固定连接，所述加压板(66)可密封滑动连接在进料缸(61)内部。

6.根据权利要求4所述的超声波搅拌的氮化镓液相生长装置，其特征在于，所述进料缸(61)外环侧固定连接有第一加热环(63)，所述进料管(62)外环测固定连接有第二加热环(64)。

7.根据权利要求1所述的超声波搅拌的氮化镓液相生长装置，其特征在于，所述充气组件(7)包括进气机构以及排气机构，所述进气机构设置在外壳体(1)环侧上，且与容纳腔(11)侧壁底端连通设置，所述排气机构设置在盖体(12)上。

8.根据权利要求7所述的超声波搅拌的氮化镓液相生长装置，其特征在于，所述进气机构包括环绕在外壳体(1)外环侧上的导管(71)，所述导管(71)通过连通管(72)与容纳腔(11)侧壁底端连通设置，所述导管(71)连通有气源。

9.根据权利要求7所述的超声波搅拌的氮化镓液相生长装置，其特征在于，所述排气机构包括设置在盖体(12)上的排气电磁阀(73)。