[发明专利]一种平板显示器用钼合金溅射靶材的洗烘装置及洗烘方法在审
| 申请号： | 202210490991.0 | 申请日： | 2022-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN114887967A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 扈百直;董冬青;孔伟华 | 申请（专利权）人： | 江苏迪丞光电材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B1/02;B08B13/00;F26B21/00 |
| 代理公司： | 江苏长德知识产权代理有限公司 32478 | 代理人： | 陈飞 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市邳州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种平板显示器用钼合金溅射靶材的洗烘装置及洗烘方法，利用旋转的螺旋叶片及拨片将靶材卷入料筒内腔，依次经过去污区、洗涤区和烘干区；移动过程中，由转动的螺旋叶片联动靶材周向转动和水平移动，与螺旋叶片的表面及料筒的底壁摩擦，于去污区内加强清洁、去污的效果，于清洗区2内加强清洗效果，于烘干区内进一步去除水渍被烘干后遗留的水渍。本发明的洗烘装置及洗烘方法，其结构简单，体积小，使用方便，节能节水，洗烘效果好，具有很强的实用性和广泛的适用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平板 显示 器用 合金 溅射 装置 方法 | ||
【主权项】：
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