[发明专利]一种平板显示器用钼合金溅射靶材的洗烘装置及洗烘方法

权利要求书

1.一种平板显示器用钼合金溅射靶材的洗烘装置，其特征在于，包括横置的料筒，料筒内设有由电机轴联动的螺旋叶片；

沿长度方向，料筒的内腔由设于螺旋叶片的轴底部的隔板依次分为去污区、洗涤区和烘干区；

所述螺旋叶片包括第一螺旋叶片、第二螺旋叶片、第三螺旋叶片，分别匹配去污区、洗烘区、出件区，且螺腔顺接；

所述去污区的料筒内盛有清洗液；

所述洗烘区包括清洗区和烘干区，清洗区的料筒顶壁设有喷淋头，底壁设有漏水口；烘干区的料筒顶壁设有接热风机的风口，底壁设有沥水口；

且，于去污区、洗烘区、出件区的隔板前端的螺旋叶片均设有至螺腔内的拨片，用于将螺腔内的靶材抬高后拨至下一段螺腔内。

2.根据权利要求1所述的洗烘装置，其特征在于，所述去污区内的料筒内壁及第一螺旋叶片的表面，均为砂面。

3.根据权利要求2所述的洗烘装置，其特征在于，所述砂面为1500-2500目。

4.根据权利要求1所述的洗烘装置，其特征在于，所述清洗区的底部设有正对漏水口的蓄水池。

5.根据权利要求4所述的洗烘装置，其特征在于，所述烘干区的底部设有正对沥水口的沥水管，沥水管通蓄水池。

6.根据权利要求5所述的洗烘装置，其特征在于，所述蓄水池包括一级蓄水池和二级蓄水池，沥水管通一级蓄水池，一级蓄水池和二级蓄水池间设有第一溢水板，二级蓄水池的末端设有高度低于第一溢水板的第二溢水板，第二溢水板后接排水管。

7.根据权利要求6所述的洗烘装置，其特征在于，所述喷淋头包括一级喷淋头由市政供水，二级喷淋头由二级蓄水池通过二级循环泵供水。

8.根据权利要求6所述的洗烘装置，其特征在于，所述清洗区和烘干区的料筒内壁及第二螺旋叶片的表面，均设有绒布。

9.根据权利要求1所述的洗烘装置，其特征在于，所述去污区的底壁设有漏污口，通设于去污区底部的集污池。

10.一种平板显示器用钼合金溅射靶材的洗烘方法，其特征在于，适用于权利要求1-9任一项所述的洗烘装置，包括以下步骤：

S1、靶材由供料链输送至料筒的入口；

S2、置于料筒入口处的第一螺旋叶片前端的拨片，拨动靶材并沿料筒的内壁移动至螺旋叶片的轴的顶部，再沿螺腔落入去污区；

S3、转动的第一螺旋叶片推动靶材沿料筒的底壁旋转并移动至去污区的末端；移动过程中，清洗液浸没靶材的同时，由砂面摩擦清洁靶材的对侧面及端面；

S4、洗烘区前端的第一螺旋叶片末端的拨片，拨动靶材并沿料筒的内壁移动至螺旋叶片的轴的顶部，再沿螺腔落入洗烘区；

S5、转动的第二螺旋叶片推动靶材沿料筒的底壁旋转并移动至洗烘区的末端；移动过程中，靶材依次由清洗区的二级喷淋头、一级喷淋头喷出的水清洗后，同时由绒布去除表面的清洗液；

再由烘干区的风口的热风吹干，同时由绒布去除表面的水渍；

S6、洗烘完毕后，由出件区前端的第二螺旋叶片末端的拨片，拨动靶材并沿料筒的内壁移动至螺旋叶片的轴的顶部，再沿螺腔落入出件区；

S7、转动的第三螺旋叶片推动靶材沿料筒的底壁移动至出料链。