[发明专利]一种TOPCon电池及其制备方法

摘要

本发明提供了一种TOPCon电池及其制备方法；该TOPCon电池，包括：Si基体；复合在所述Si基体上的隧穿氧化层；复合在所述隧穿氧化层上的第一晶硅层；复合在所述第一晶硅层上的磷扩散阻挡层；复合在所述磷扩散阻挡层上的第二晶硅层；复合在所述第二晶硅层上的H阻挡层；复合在所述H阻挡层上的氮硅层。与现有技术相比，本发明提供的TOPCon电池引入磷扩散阻挡层和H阻挡层，其中设置磷扩散阻挡层，实现磷重掺并阻止过多磷扩散进隧穿氧化层破坏隧穿效果，设置H阻挡层，在后续的热过程中阻止H外溢，强化H钝化效果，并且阻止磷向氮化硅层扩散破坏氮化硅钝化效果，在此基础上，配合其他特定层结构，实现产品整体性的强化，从而提升电池效率，最终降低电池度电成本。