[发明专利]一种P型IBC电池及其制备方法在审
申请号: | 202210469365.3 | 申请日: | 2022-04-30 |
公开(公告)号: | CN115020537A | 公开(公告)日: | 2022-09-06 |
发明(设计)人: | 任常瑞;张文超;董建文;符黎明 | 申请(专利权)人: | 常州时创能源股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/306;H01L31/0216;H01L31/0236;H01L31/068 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 213300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种P型IBC电池及其制备方法,制备方法包括:(1)硅基底双面抛光;(2)双面沉积隧穿氧化层和非晶硅层,高温磷扩;(3)背面涂覆一层浆料,烘干和退火处理后形成一层掩膜层;(4)利用激光对背面的掩膜层进行图形化开膜,在背面形成裸露的P区和覆盖有掩膜层的N区;(5)双面碱制绒;(6)双面沉积氧化铝膜;(7)双面沉积氮化硅膜;(8)利用激光对P区进行图形化开膜;(9)丝网印刷。本发明在硅基底背面单面涂覆一层能形成掩膜层的浆料,通过激光和碱制绒相结合的方式来实现隔离硅基底背面的P区和N区,碱制绒能够减少激光开膜过程对硅基底造成的损伤,容易实现单面沉积掩膜层,且无需额外清洗,节约工序。 | ||
搜索关键词: | 一种 ibc 电池 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州时创能源股份有限公司,未经常州时创能源股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202210469365.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的