[发明专利]一种P型IBC电池及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202210469365.3 申请日: 2022-04-30
公开(公告)号: CN115020537A 公开(公告)日: 2022-09-06
发明(设计)人: 任常瑞;张文超;董建文;符黎明 申请(专利权)人: 常州时创能源股份有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/306;H01L31/0216;H01L31/0236;H01L31/068
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 213300 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种P型IBC电池及其制备方法,制备方法包括:(1)硅基底双面抛光;(2)双面沉积隧穿氧化层和非晶硅层,高温磷扩;(3)背面涂覆一层浆料,烘干和退火处理后形成一层掩膜层;(4)利用激光对背面的掩膜层进行图形化开膜,在背面形成裸露的P区和覆盖有掩膜层的N区;(5)双面碱制绒;(6)双面沉积氧化铝膜;(7)双面沉积氮化硅膜;(8)利用激光对P区进行图形化开膜;(9)丝网印刷。本发明在硅基底背面单面涂覆一层能形成掩膜层的浆料,通过激光和碱制绒相结合的方式来实现隔离硅基底背面的P区和N区,碱制绒能够减少激光开膜过程对硅基底造成的损伤,容易实现单面沉积掩膜层,且无需额外清洗,节约工序。
搜索关键词: 一种 ibc 电池 及其 制备 方法
【主权项】:
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