[发明专利]一种构建磁相机检测图像来实现缺陷成像检测的方法及系统

摘要

本发明公开了一种构建磁相机检测图像来实现缺陷成像检测的方法及系统，本发明包括通过涡流阵列传感器探头以横向间距L、纵向间距D逐点逐块地采集被检测元件表面的检测信号，得到m×n组单元检测信号幅值a1，a2，..，am×n并生成磁相机检测图像；基于磁相机检测图像的颜色差异判断被检测元件是否存在缺陷，且在存在缺陷的情况下基于磁相机检测图像确定缺陷的位置。本发明得到的缺陷图像原始分辨率高，进而基于图像处理方法能更准确地定量缺陷，有效克服了常规扫描方法中磁传感器和缺陷角度不同时导致的成像差异问题，具有良好的适用性，可以广泛推广应用。