[发明专利]一种构建磁相机检测图像来实现缺陷成像检测的方法及系统

权利要求书

1.一种构建磁相机检测图像来实现缺陷成像检测的方法，其特征在于，包括：

1)通过涡流阵列传感器探头在三轴平台的带动下以横向间距L、纵向间距D逐点逐块地采集被检测元件表面的检测信号，采集得到m×n组单元检测信号幅值a₁,a₂,..,a_m×n；

2)基于m×n组单元检测信号幅值a₁,a₂,..,a_m×n生成磁相机检测图像；

3)基于磁相机检测图像的颜色差异判断被检测元件是否存在缺陷，且在存在缺陷的情况下基于磁相机检测图像确定缺陷的位置。

2.根据权利要求1所述的构建磁相机检测图像来实现缺陷成像检测的方法，其特征在于，步骤2)包括：将m×n组单元检测信号幅值a₁,a₂,..,a_m×n乘以预设的校正系数p得到初始检测数据矩阵；基于初始检测数据矩阵进行成像得到磁相机检测图像，且所述磁相机检测图像中单个像素分辨率直接对应于涡流阵列传感器探头上传感器探头的空间分辨率。

3.根据权利要求2所述的构建磁相机检测图像来实现缺陷成像检测的方法，其特征在于，步骤2)之前还包括标定校正系数p的步骤：通过涡流阵列传感器探头选取无缺陷区域采集一组样本数据a，并根据下式计算得到校正系数p：

上式中，a₀～a_i分别为采集的一组样本数据a中的i个样本数据。

4.根据权利要求1所述的构建磁相机检测图像来实现缺陷成像检测的方法，其特征在于，步骤3)中在存在缺陷的情况下还包括：

S1)根据涡流阵列传感器探头的尺寸对磁相机检测图像进行插值，得到被检测元件表面的检测信号的扩展矩阵图像，所述扩展矩阵图像中的每个检测信号代表一个像素点，使得单个像素的分辨率达到指定大小，基于被检测元件表面的检测信号的扩展矩阵图像进行成像，得到缺陷的超分辨率二维和伪三维图像；

S2)对缺陷的超分辨率二维进行二值化，通过二值化将无缺陷区域与有缺陷区域分割开来，并基于有缺陷区域的像素点尺寸得到缺陷的定量检测结果。

5.根据权利要求4所述的构建磁相机检测图像来实现缺陷成像检测的方法，其特征在于，步骤S1)中的插值是指采用双立方插值。

6.根据权利要求4所述的构建磁相机检测图像来实现缺陷成像检测的方法，其特征在于，步骤S1)中使得单个像素的分辨率达到指定大小是指使得单个像素的分辨率达到0.1mm×0.1mm。

7.根据权利要求4所述的构建磁相机检测图像来实现缺陷成像检测的方法，其特征在于，步骤S2)中进行二值化包括先进行灰度化处理，然后再使用MATLAB软件中的im2bw函数基于OTSU算法阈值进行二值化。

8.一种构建磁相机检测图像来实现缺陷成像检测的系统，包括相互连接的微处理器和存储器，其特征在于，该微处理器被编程或配置以执行权利要求1～7中任意一项所述构建磁相机检测图像来实现缺陷成像检测的方法的步骤。

9.一种磁相机缺陷成像检测装置，包括涡流阵列传感器探头、三轴平台和数据处理设备，所述涡流阵列传感器探头安装在三轴平台上，且所述涡流阵列传感器探头与数据处理设备两者通信连接，其特征在于，所述数据处理设备被编程或配置以执行权利要求1～7中任意一项所述构建磁相机检测图像来实现缺陷成像检测的方法的步骤。

10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，该计算机可读存储介质中存储有用于被计算机设备执行以实施权利要求1～7中任意一项所述构建磁相机检测图像来实现缺陷成像检测的方法的计算机程序。