[发明专利]晶圆测试装置及测试方法和计算机存储介质在审
| 申请号： | 202210465757.2 | 申请日： | 2022-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN114910777A | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 史云龙 | 申请（专利权）人： | 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 顾丹丽 |
| 地址： | 312000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种晶圆测试装置及测试方法和计算机存储介质，所述晶圆测试方法包括：将待测晶圆表面划分为多个测试区域，所述测试区域包含若干个待测芯片；获取初始测试区域内的待测芯片所采用的初始针压；获取当前测试区域与所述初始测试区域内的待测芯片之间的高度差；根据所述高度差补偿所述初始针压，以获得当前针压；采用所述当前针压测试所述当前测试区域内的待测芯片。本发明的技术方案使得在确保测试结果准确的同时，还能减少对芯片的损伤以及提高探针卡的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 装置 方法 计算机 存储 介质 | ||
【主权项】：
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