[发明专利]斜入射光纤直接耦合的大横截面光波导探测器

摘要

本发明公开了一种斜入射光纤直接耦合的大横截面光波导探测器，包括InP基底和InP基底上的覆盖层、置于覆盖层上的脊波导和两个地电极，两个地电极水平放置在覆盖层上并关于脊波导对称，脊波导从下到上依次包括波导层、收集层、耗尽层、吸收层和阻挡层，信号电极层位于脊波导的阻挡层上，波导探测器的横截面呈“凸”字型；光倾斜一定角度从波导层端面入射，最后传播到吸收层被吸收产生光电流。本发明改善了一般光波导探测器的光电流分布不均匀的问题，针对不同的波导结构，可以调整不同的入射倾角使其达到光电流均匀分布，采用斜入射式的方法，可以不再受超模匹配严苛条件的限制，调整合适的角度最终达到光电流分布均匀。