[发明专利]斜入射光纤直接耦合的大横截面光波导探测器

权利要求书

1.斜入射光纤直接耦合的大横截面光波导探测器，其特征在于，包括InP基底和InP基底上的覆盖层、置于覆盖层上的脊波导和两个地电极，两个地电极水平放置在覆盖层上并关于脊波导对称，脊波导从下到上依次包括波导层、收集层、耗尽层、吸收层和阻挡层，信号电极层位于脊波导的阻挡层上，波导探测器的横截面呈“凸”字型；

光倾斜一定角度从波导层端面入射，最后传播到吸收层被吸收产生光电流。

2.根据权利要求1所述的斜入射光纤直接耦合的大横截面光波导探测器，其特征在于，所述脊波导的宽度为9μm，波导层的厚度为9μm，因此波导层横截面为9×9μm²，与单模光纤纤芯截面尺寸匹配；探测器的长度为200μm。