[发明专利]一种超高纯铜系残靶的循环再利用方法在审
| 申请号： | 202210459111.3 | 申请日： | 2022-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN114769269A | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;周友平;慕二龙;汪焱斌 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B09B3/00 | 分类号： | B09B3/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 牛海燕 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种超高纯铜系残靶的循环再利用方法，所述循环再利用方法包括如下步骤：(1)超高纯铜系残靶依次经超声清洗、除锈清洗和酒精清洗，得到残靶原料；(2)将所述残靶原料进行真空感应熔炼制备超高纯铜系靶材。本发明所述循环再利用方法操作简单，过程易于调控，实现对不同类型的超高纯铜系残靶的循环利用，具有很高的推广使用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 铜系残靶 循环 再利用 方法 | ||
【主权项】：
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