[发明专利]一种超高纯铜系残靶的循环再利用方法

权利要求书

1.一种超高纯铜系残靶的循环再利用方法，其特征在于，所述循环再利用方法包括如下步骤：

(1)超高纯铜系残靶依次经超声清洗、除锈清洗和酒精清洗，得到残靶原料；

(2)将所述残靶原料进行真空感应熔炼制备超高纯铜系靶材。

2.根据权利要求1所述的循环再利用方法，其特征在于，步骤(1)所述超高纯铜系残靶为溅射使用后的残靶；

优选地，所述超高纯铜系残靶包括超高纯铜残靶或超高纯铜合金残靶。

3.根据权利要求1所述的循环再利用方法，其特征在于，步骤(1)所述超高纯铜系残靶包括一体型超高纯铜系残靶、钎焊焊接型超高纯铜系残靶或扩散焊接型超高纯铜系残靶中的任意一种。

4.根据权利要求3所述的循环再利用方法，其特征在于，所述钎焊焊接型超高纯铜系残靶在超声清洗之前依次进行脱焊处理、冷却和第一车削处理；

优选地，所述脱焊处理的温度为340～360℃；

优选地，所述脱焊处理的时间为0.5～1h。

5.根据权利要求3所述的循环再利用方法，其特征在于，所述扩散焊接型超高纯铜系残靶在超声清洗之前进行第二车削处理。

6.根据权利要求1～5任一项所述的循环再利用方法，其特征在于，步骤(1)所述超声清洗使用的清洗剂包括体积比为1:1～3:1的异丙醇和丙酮的混合溶液；

优选地，步骤(1)所述超声清洗的时间为20～30min。

7.根据权利要求1～6任一项所述的循环再利用方法，其特征在于，步骤(1)所述除锈清洗使用的除锈剂包括苯三唑8～12wt％、柠檬酸15～25wt％和丁炔二醇1～3wt％，其余为纯水；

优选地，步骤(1)所述除锈清洗的时间为3～8min。

8.根据权利要求1～7任一项所述的循环再利用方法，其特征在于，步骤(1)所述酒精清洗的时间为2～5min；

优选地，步骤(1)所述酒精清洗之后进行干燥。

9.根据权利要求1～8任一项所述的循环再利用方法，其特征在于，步骤(2)所述真空熔炼的真空度为1×10^-4～1×10^-3Pa；

优选地，所述真空熔炼采用分级加热的方式进行；

优选地，所述分级加热先将残靶原料加热至第一温度150～200℃，进行第一保温1～1.5h后，继续加热至第二温度1220～1280℃，进行第二保温30～50min。

10.根据权利要求1～9任一项所述的循环再利用方法，其特征在于，所述循环再利用方法包括如下步骤：

(1)超高纯铜系残靶依次经超声清洗20～30min、除锈清洗3～8min和酒精清洗2～5min，干燥后得到残靶原料；所述超高纯铜系残靶为溅射使用后的残靶；所述超高纯铜系残靶包括超高纯铜残靶或超高纯铜合金残靶；所述超高纯铜系残靶包括一体型超高纯铜系残靶、钎焊焊接型超高纯铜系残靶或扩散焊接型超高纯铜系残靶中的任意一种；所述钎焊焊接型超高纯铜系残靶在超声清洗之前依次进行脱焊处理、冷却和第一车削处理；所述脱焊处理在加热台上进行；所述脱焊处理的温度为340～360℃；所述脱焊处理的时间为0.5～1h；所述冷却包括空冷；所述扩散焊接型超高纯铜系残靶在超声清洗之前进行第二车削处理；所述超声清洗使用的清洗剂包括体积比为1:1～3:1的异丙醇和丙酮的混合溶液；所述除锈清洗使用的除锈剂包括苯三唑8～12wt％、柠檬酸15～25wt％和丁炔二醇1～3wt％，其余为纯水；所述超声清洗之后进行第一纯水清洗，去除残留的清洗剂；所述除锈清洗之后进行第二纯水清洗，去除残留的除锈剂；

(2)将所述残靶原料进行真空感应熔炼制备超高纯铜系靶材；所述真空熔炼的真空度为1×10^-4～1×10^-3Pa；所述真空熔炼采用分级加热的方式进行；所述分级加热先将残靶原料加热至第一温度150～200℃，进行第一保温1～1.5h后，继续加热至第二温度1220～1280℃，进行第二保温30～50min。