[发明专利]存储系统、以及三维存储器及其制备方法

摘要

存储系统、以及三维存储器及其制备方法。本公开提供了一种三维存储器及其制备方法。本公开还提供了一种存储系统。根据本公开的三维存储器包括：堆叠结构，包括交替堆叠的绝缘层和栅极层，堆叠结构还包括台阶区，台阶区包括沿第一方向排布的多个分区，相邻的两个分区之间具有分界区，每个分区包括沿第二方向设置的多级台阶；在所述分界区内，相邻台阶的交界部位构成交界结构；第一方向与第二方向相互交叉，且分别与绝缘层和栅极层的堆叠方向垂直；以及栅线缝隙结构，栅线缝隙结构贯穿堆叠结构；其中部分栅线缝隙结构位于分界区、并贯穿至少一个交界结构。