[发明专利]采用二氧化碳激光制备回音壁模式微泡探针谐振器的方法、谐振器及压力感测系统有效
| 申请号： | 202210422435.X | 申请日： | 2022-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN115014599B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 刘申;刘博男;张强;廖常锐;王义平 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 胡昌志 |
| 地址： | 518060 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用二氧化碳激光制备回音壁模式微泡探针谐振器的方法，包括如下步骤：采用二氧化碳激光对一石英毛细管进行加工，使之一端形成带接触探针的回音壁模式微泡腔，然后将一波导与所述回音壁模式微泡腔的赤道面圆周相耦合。该方法采用二氧化碳激光制备回音壁模式微泡探针谐振器。本发明还公开一种回音壁模式微泡探针谐振器及压力感测系统。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 二氧化碳 激光 制备 回音壁 模式 探针 谐振器 方法 压力 系统 | ||
【主权项】：
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